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LCD/半導體行業廢氣處理
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LCD/半導體行業廢氣處理詳情

LCD/半導體行業廢氣處理簡述:

半導(dao)體(ti)製造(zao)業是集合(he)物理、電子(zi)、電機、光學(xue)、化(hua)學、材料及管理科(ke)學的(de)高科技(ji)工業。電子(zi)行業主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的汙染和電路板等器件清洗等表麵處理過程中因使用一些化(hua)學藥劑(如硫(liu)酸(suan)、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其(qi)他(ta)有機(ji)鹵(lu)化物(wu))揮(hui)發(fa)造成對大氣環境(jing)的汙染,以及整機裝(zhuang)配過程中產(chan)生的機械(xie)噪(zao)聲(sheng)和少量粉(fen)塵也會(hui)造成環境汙染,這(zhe)些汙染氣體會造成(cheng)人群(qun)慢(man)性或(huo)急性中毒(du)。由(you)於半導體元件製(zhi)程中,使用(yong)多(duo)種酸堿(jian)溶(rong)液(ye)、有機溶劑及(ji)特殊(shu)的有毒氣體,其產生的廢氣及有毒物質汙染強度(du)大,若做(zuo)不(bu)好(hao)汙染防(fang)治(zhi)工作,將造成嚴(yan)重的環境汙染。目(mu)前(qian)更先(xian)進(jin)的處理方法(fa)有:蓄熱式氧(yang)化法(RTO)、濃(nong)縮(suo)轉輪+RTO、熱(re)力燃(ran)燒法(TO)、催(cui)化燃燒(shao)法、吸(xi)附(fu)法、吸收(shou)法。

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